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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116219408B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310222498.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器是由王正国;包驷璋;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2023-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器，调节盘上均布有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的底部与连接轴连接，连接轴压接到深沟球轴承上，深沟球轴承安装在陶瓷垫环内，陶瓷垫环的底部安装有带螺纹连杆，带螺纹连杆上套装有密封单元，密封单元安装在调整杆陶瓷套上。本发明将调节部分放在腔体外面，隔绝了腔体内部高温影响，提高了调节效率；采用带锁紧千分尺头直连上下运动，提高了整体调节精准度，另外千分尺头本身带有轴心锁，锁紧调节杆位置稳定快捷，进一步提高了效率；调节器和上腔体之间采用了绝缘件隔绝装配，避免了设备开启过程腔体放电，而且陶瓷件的精度稳定性都很好，提高了设备本身的稳定性。

本发明授权用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器在权利要求书中公布了：1.用于半导体镀膜喷淋头平面性便携精微位置调节器，其特征在于，包括喷头陶瓷套2和调节盘3，调节盘3上均布有三个带锁紧千分尺头9，带锁紧千分尺头9的底部与连接轴7连接，连接轴7压接到深沟球轴承17上，深沟球轴承17安装在陶瓷垫环6内，陶瓷垫环6的底部安装有带螺纹连杆21，带螺纹连杆21上套装有密封单元，密封单元安装在调整杆陶瓷套12上；带螺纹连杆21与68寸喷淋头1螺纹连接，喷头陶瓷套2内通过O型密封圈一15和密封挡板5密封插装有68寸喷淋头1的进气管；密封单元包括半圆压块13、焊接波纹管14、O型密封圈三18和密封法兰22，焊接波纹管14和密封法兰22均套在带螺纹连杆21上，焊接波纹管14的两端面分别与带螺纹连杆21、密封法兰22焊接，密封法兰22与调整杆陶瓷套12螺纹连接并通过半圆压块13固定，密封法兰22与调整杆陶瓷套12之间设有O型密封圈三18。

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