安徽积芯微电子科技有限公司陆坤获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽积芯微电子科技有限公司申请的专利一种晶圆划片机的机械手夹料装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116313998B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310382238.4,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种晶圆划片机的机械手夹料装置是由陆坤;史加奎;丁多勇;卢远江设计研发完成,并于2023-04-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆划片机的机械手夹料装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆划片机的机械手夹料装置,涉及晶圆划片机技术领域。本发明包括水平设置的直线驱动机构;直线驱动机构的下方设置有一对夹持机构;两夹持机构的上部分别通过旋转调向机构与直线驱动机构相连接;旋转调向机构可带动夹持机构水平转动;直线驱动机构上装设有用于驱动夹持机构上下运动的升降机构。本发明不仅结构设计合理、使用便捷,而且有效地提高了半导体晶圆划片机对物料工件盘的加工效率,具有较高的市场应用价值。
本发明授权一种晶圆划片机的机械手夹料装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆划片机的机械手夹料装置,包括水平设置的直线驱动机构1;其特征在于: 所述直线驱动机构1的下方设置有一对夹持机构2;两所述夹持机构2的上部分别通过旋转调向机构3与直线驱动机构1相连接;所述旋转调向机构3可带动夹持机构2水平转动;所述直线驱动机构1上装设有用于驱动夹持机构2上下运动的升降机构4; 所述直线驱动机构1包括一对对称竖直设置的侧撑柱101;两所述侧撑柱101的下端之间通过第一支撑板条102相连接;所述第一支撑板条102的上表面水平固定有与其相平行的第一气缸103;所述第一气缸103的输出端贯穿一侧撑柱101;所述第一支撑板条102的一端下表面转动连接有竖直设置的安装轴104;所述安装轴104上固定套设有第一齿轮105;所述第一齿轮105上啮合有一对与第一支撑板条102相平行的传动齿条106;两所述传动齿条106分别设置于第一支撑板条102的相对两侧;一所述传动齿条106的一端通过驱动板条107与第一气缸103的输出端相连接;两所述传动齿条106的上表面均沿长度方向开设有定向槽108;两所述定向槽108内均滑动连接有滑块109;两所述滑块109分别固定于第一支撑板条102的相对两端部处; 所述夹持机构2包括水平设置的承载板201;所述旋转调向机构3包括平行设置于第一支撑板条102下方的定位条301;所述定位条301的相对两侧面均并排设置有多个第一齿牙302和多个第二齿牙303;所述定位条301的一端部上表面与安装轴104的下端转动连接;所述定位条301的另一端部上表面与第一支撑板条102的下表面之间通过悬吊柱304相连接;所述定位条301的相对两侧均水平设置有可与第一齿牙302或第二齿牙303相啮合的第二齿轮305;两所述第二齿轮305的下表面分别通过一对竖直设置的承载柱306与两承载板201的上表面相连接;所述承载柱306分别设置于第二齿轮305的边缘处及承载板201的边缘处;两所述第二齿轮305的上表面均同轴固定有活动柱307;两所述活动柱307的外周均活动套设有连接块308;两所述连接块308分别固定于两传动齿条106朝向相同的一端部上。
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