麦斯塔微电子(深圳)有限公司雷永庆获国家专利权
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龙图腾网获悉麦斯塔微电子(深圳)有限公司申请的专利MEMS谐振器及MEMS谐振器阵列获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116346071B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310363360.7，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权MEMS谐振器及MEMS谐振器阵列是由雷永庆;李明;李轩设计研发完成，并于2023-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS谐振器及MEMS谐振器阵列在说明书摘要公布了：本申请提出了一种MEMS谐振器及MEMS谐振器阵列。该MEMS谐振器包括振动单元、耦合储能单元、锚点、第一电极；振动单元用于产生谐振；耦合储能单元与振动单元耦合连接且为高Q振动模式；锚点将耦合储能单元固定于衬底上；第一电极邻近设置于振动单元，且与振动单元之间具有间隙。本申请在MEMS谐振器中设置了耦合储能单元，一方面相当于在既有振动单元的基础上引入了其他高品质因子体模态振动结构，从而可以提升整个MEMS谐振器的谐振Q值；另一方面该耦合储能单元与振动单元耦合连接，增大了耦合的面积，有利于提高耦合效率，可以进一步提升谐振Q值；另外，耦合储能单元与振动单元的耦合面积可以增大，也有利于提高耦合效率。
本发明授权MEMS谐振器及MEMS谐振器阵列在权利要求书中公布了：1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括： 振动单元，用于产生谐振，所述振动单元为环状结构； 耦合储能单元，与所述振动单元直接耦合连接且为高Q振动模式，沿垂直于衬底的视线方向，所述耦合储能单元呈矩形或者圆形，单个所述耦合储能单元用于直接耦合连接于相邻所述振动单元之间； 锚点，将所述耦合储能单元固定于衬底上； 第一电极，邻近设置于所述振动单元，且与所述振动单元之间具有间隙，所述第一电极包括驱动电极和感测电极，所述驱动电极设置于所述振动单元的外侧、且与所述振动单元的外侧面具有第一间隙，所述感测电极设置于振动单元的内侧、且与所述振动单元的内侧面具有第二间隙。
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