科磊股份有限公司宋春卫获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利检测样品上的缺陷获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120418643B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202480005834.3，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权检测样品上的缺陷是由宋春卫;聂思晴;周卫峰;李晓春;朴相奉设计研发完成，并于2024-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测样品上的缺陷在说明书摘要公布了：提供用于检测样品上的缺陷的方法及系统。一种系统从由检验子系统产生的所述样品的图像的不同组合计算不同候选参考图像且在不修改的情况下组合所述候选参考图像的不同部分以由此产生最终参考图像。接着，将所述最终参考图像用于缺陷检测，其可为单一或双重检测。实施例对于样品的仅包含不可分辨、重复装置图案的区域，比如单元区中的缺陷检测特别有用，但也可用于其它类型的区域的检验。
本发明授权检测样品上的缺陷在权利要求书中公布了：1.一种经配置用于检测样品上的缺陷的系统，其包括： 检验子系统，其经配置用于产生样品的图像，所述图像包含测试图像及对应于所述测试图像的两个或更多个其它图像；及 计算机子系统，其经配置用于： 从所述测试图像及所述两个或更多个其它图像中的至少两者的不同组合计算第一及第二候选参考图像； 至少选择对应于所述测试图像的第一部分的所述第一候选参考图像的一部分及对应于所述测试图像的第二部分的所述第二候选参考图像的一部分； 在不修改所述第一及第二候选参考图像的选定部分的情况下组合所述第一及第二候选参考图像的所述选定部分以由此产生最终参考图像； 通过比较所述测试图像与所述最终参考图像而产生差异图像；及 通过将缺陷检测方法应用于所述差异图像而检测所述测试图像中的缺陷。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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