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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种用于等离子体测量的探针系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120468473B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510947565.9，技术领域涉及：G01R1/067；该发明授权一种用于等离子体测量的探针系统是由周海山;徐倩;杨鑫;李宇;罗广南设计研发完成，并于2025-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于等离子体测量的探针系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于等离子体测量的探针系统，涉及等离子体测量设备技术领域，包括探针组件、安装座、绝缘垫和散热座，探针组件包括用于测量的针体；绝缘垫与安装座相互挤压配合，且绝缘垫以可拆卸连接的方式连接于安装座，绝缘垫设有相互连通的安装槽和安装孔，探针组件连接于安装槽内，使针体插设于安装孔并伸出于绝缘垫，散热座固定连接于安装座，散热座挤压探针组件，探针组件的下表面抵接于散热座，散热座设有用于流通冷却液的冷却通道。拆卸绝缘垫使得绝缘垫与安装座分离，进而使得探针组件能够直接插设安装或拆卸于绝缘垫，以使探针组件能够单独拆卸更换，无需更换整个探针系统，降低成本，提高探针组件的单独安装和拆卸效率。

本发明授权一种用于等离子体测量的探针系统在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子体测量的探针系统，其特征在于，包括： 探针组件，包括探针座和用于测量的针体，所述针体连接于所述探针座； 安装座； 绝缘垫，所述绝缘垫与所述安装座相互挤压配合，且所述绝缘垫以可拆卸连接的方式连接于所述安装座，所述绝缘垫设有安装槽和安装孔，所述安装槽的槽口朝向所述安装座，所述安装孔连通于所述安装槽的槽底，所述安装槽和所述安装孔相互连通，所述探针组件连接于所述安装槽内，使所述针体插设于所述安装孔并伸出于所述绝缘垫； 散热座，固定连接于所述安装座，所述探针组件远离所述安装孔的一侧连接于所述散热座，所述散热座挤压所述探针座，所述探针座的下表面抵接于所述散热座，所述探针座和所述散热座形成可拆卸的面接触连接配合，使所述探针座固定在所述安装槽内，所述散热座抵接于所述绝缘垫，所述散热座与所述绝缘垫形成可拆卸的面接触配合，所述散热座设有用于流通冷却液的冷却通道，所述散热座连接有用于传输冷却液的冷却管件，所述冷却管件包括分别连通于所述冷却通道的第一管和第二管，所述第一管插设于所述第二管中，所述第一管和所述第二管形成有第一间隙，所述第一管插接于所述冷却通道，使所述第一管与所述冷却通道之间具有第二间隙，且所述第二间隙与所述第一管连通，所述第二管的内径大于所述冷却通道的内径，使所述第一间隙与所述第二间隙连通，所述冷却液能够从所述第二间隙流入所述第一间隙。

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