东方电气长三角(杭州)创新研究院有限公司徐敬超获国家专利权
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龙图腾网获悉东方电气长三角(杭州)创新研究院有限公司申请的专利一种提高真空蒸镀有效面积的金属掩膜板获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223607338U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423043492.0,技术领域涉及:C23C14/04;该实用新型一种提高真空蒸镀有效面积的金属掩膜板是由徐敬超;董敬一;陈鑫;杨莹;张中伟设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高真空蒸镀有效面积的金属掩膜板在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种提高真空蒸镀有效面积的金属掩膜板,其特征在于,包括方形金属边框,金属边框包括四条边,该四条边围拢出一个方形开口,沟槽形成于所述金属边框与掩膜之间,掩膜位于方形开口的四个角,方形的金属边框靠近掩膜一侧的表面定义为上表面。本实用新型优化掩膜版边缘结构,引入四角沟槽掩膜结构设计,既可以有效支撑嵌入的蒸镀基片,又使掩膜版边缘过渡更加平滑,减少薄膜在边缘区域的不均匀沉积,有效解决真空蒸镀掩膜版的边缘遮挡问题,保证了掩膜版的高精度和高平整度,增加薄膜的均匀性和基板镀膜的有效面积,从而提升真空蒸镀薄膜的整体性能和良率。
本实用新型一种提高真空蒸镀有效面积的金属掩膜板在权利要求书中公布了:1.一种提高真空蒸镀有效面积的金属掩膜板,其特征在于,包括金属边框1、沟槽2和掩膜3,所述金属边框1为方形,其四条边围拢出一个方形的开口4;所述沟槽2形成于所述金属边框1与掩膜3之间,所述掩膜3位于所述开口4的四个角,将所述金属边框1靠近掩膜3一侧的表面定义为上表面。
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