深圳技术大学韩培刚获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳技术大学申请的专利掺杂金刚石薄膜的制备装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223607353U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423129233.X，技术领域涉及：C23C16/26；该实用新型掺杂金刚石薄膜的制备装置是由韩培刚;陈启原;何斌;黄江涛;林立宇设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本掺杂金刚石薄膜的制备装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种掺杂金刚石薄膜的制备装置。制备装置包括第一主体、第二主体、加热组件、搬运组件、真空组件和激光发射组件。第一主体设有第一空腔，第一空腔设有用于承载基材的基台，第一空腔用于接入反应气体。加热组件设于第一空腔，第二主体设有第二空腔，第一空腔和第二空腔能够通过开关阀在相连通和相隔绝的状态之间切换。搬运组件设于第二空腔，搬运组件用于在第一空腔和第二空腔连通时，将掺杂靶材从第二空腔运送至第一空腔或从第一空腔运送至第二空腔。真空组件用于对第一空腔和或第二空腔抽真空。激光发射组件用于朝向位于第一空腔内的掺杂靶材发射激光。本申请的技术方案，旨在实现多种元素掺杂的掺杂金刚石薄膜的制备。
本实用新型掺杂金刚石薄膜的制备装置在权利要求书中公布了：1.一种掺杂金刚石薄膜的制备装置，其特征在于，包括： 第一主体，设有第一空腔，所述第一空腔用于接入反应气体，所述第一空腔设有用于承载基材的基台； 加热组件，设于所述第一空腔； 第二主体，设有第二空腔，所述第一主体和所述第二主体之间设有开关阀，所述开关阀用于使得所述第一空腔和所述第二空腔在相连通和相隔绝的状态之间切换； 搬运组件，设于所述第二空腔，所述搬运组件用于在所述第一空腔和所述第二空腔连通时，将掺杂靶材从所述第二空腔运送至所述第一空腔或从所述第一空腔运送至所述第二空腔； 真空组件，用于对所述第一空腔和或所述第二空腔抽真空； 激光发射组件，用于朝向位于所述第一空腔的所述掺杂靶材发射激光。
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