昆明物理研究所周允红获国家专利权
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龙图腾网获悉昆明物理研究所申请的专利一种带自清洁功能的有机高分子化学气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223607354U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422927263.9，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种带自清洁功能的有机高分子化学气相沉积装置是由周允红;候金宏;胡松文;金景一;张磊;周芳;杨炜平;段海琼;高树雄;高思博设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带自清洁功能的有机高分子化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及有机高分子化学气相沉积装置制造领域，特别涉及带自清洁功能的有机高分子化学气相沉积装置，原料蒸发室、原料反应室、沉积室、废料捕集腔和真空泵依次连通；加热模块环绕在原料蒸发室和原料反应室外；原料蒸发室通过阀门与自清洁原料入口连通；原料反应室和沉积室、沉积室和废料捕集腔间各设置阀门；原料反应室上设置有旁路管道连通废料捕集腔，旁路管道上设置阀门。该装置通过物理化学反应来达到清洁装置腔室内沉积物的目的，提升了维护清洁工作的便性捷，同时节省了维护时间。
本实用新型一种带自清洁功能的有机高分子化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种带自清洁功能的有机高分子化学气相沉积装置，其特征在于该装置包括原料蒸发室1、原料反应室2、沉积室3、废料捕集腔4、真空泵5、加热模块6，其中：原料蒸发室1、原料反应室2、沉积室3、废料捕集腔4和真空泵5依次连通；加热模块6环绕在原料蒸发室1和原料反应室2外；原料蒸发室1通过阀门与自清洁原料入口7连通；原料反应室2和沉积室3、沉积室3和废料捕集腔4间各设置阀门；原料反应室2上设置有旁路管道8连通废料捕集腔4，旁路管道8上设置阀门。
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