江苏德硅凯氟光电科技有限公司王庆国获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏德硅凯氟光电科技有限公司申请的专利一种真空晶体生长炉气氛维持装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223607441U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423266164.7,技术领域涉及:C30B35/00;该实用新型一种真空晶体生长炉气氛维持装置是由王庆国;贾健设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空晶体生长炉气氛维持装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种真空晶体生长炉气氛维持装置,涉及晶体生长炉技术领域,其包括:晶体生长炉本体,所述晶体生长炉本体的内部设置有反应腔,所述晶体生长炉本体的外侧壁固定连接有安装架,所述安装架的上端设置有气体控制单元,所述晶体生长炉本体的上端设置有抽气单元,所述气体控制单元包括固定连接于安装架上端的两个气体存储罐,两个气体存储罐的上端均固定连接有抽气泵一,两个所述抽气泵一的输出端均固定连接有输送管,两个所述输送管的外侧壁均安装有调节套。通过设置了抽气单元,能够调节反应腔中的气压,使反应腔内部的气压保持稳定;通过设置了气体控制单元,能够将不同的气体注入到反应腔内部,使反应腔内部气氛保持稳定。
本实用新型一种真空晶体生长炉气氛维持装置在权利要求书中公布了:1.一种真空晶体生长炉气氛维持装置,包括:晶体生长炉本体1,其特征在于,所述晶体生长炉本体1的内部设置有反应腔2,所述晶体生长炉本体1的外侧壁固定连接有安装架3,所述安装架3的上端设置有气体控制单元4,所述晶体生长炉本体1的上端设置有抽气单元5; 所述气体控制单元4包括固定连接于安装架3上端的两个气体存储罐401,两个气体存储罐401的上端均固定连接有抽气泵一402,两个所述抽气泵一402的输出端均固定连接有输送管403,两个所述输送管403的外侧壁均安装有调节套404,两个所述调节套404的一侧均转动连接有转杆405,两个所述转杆405的一端均固定连接有调节阀板406,两个所述转杆405远离调节阀板406的一端均固定连接有调节旋钮407。
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