申集半导体科技(徐州)有限公司王帅获国家专利权
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龙图腾网获悉申集半导体科技(徐州)有限公司申请的专利排气装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223609901U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520061266.0，技术领域涉及：F17D1/04；该实用新型排气装置及半导体设备是由王帅设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本排气装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种排气装置及半导体工艺设备，其中，排气装置包括管体、抽气装置、轴体、弹簧合页以及设置在管体内的固定环结构，管体的进气端用于与目标腔体连接，出气端与抽气装置连接，固定环结构设于管体内，并与管体形成供气体流通的第一流道，轴体设于固定环结构，弹性合页一端部转动设置于轴体，朝向管体进气端延伸以形成有朝向所述管体进气端的张角开口，弹性合页遮蔽部分第一流道，使得当抽气装置启动瞬间张角开口的开口程度增加，以降低气体经由第一流道流向抽气装置的流量，从而防止抽气装置在对目标腔体抽真空的瞬间发出噪音和产生震动的技术问题。
本实用新型排气装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的排气装置，其特征在于，包括： 管体，包括出气端，以及用于与所述半导体设备的目标腔体连通的进气端； 抽气装置，与所述出气端连接，用于经所述管体对所述目标腔体抽真空； 固定环结构，沿所述管体周向设于所述管体内，并与所述管体形成供气体流通的第一流道； 轴体，沿所述固定环结构的径向设于所述固定环结构； 弹性合页，一端部转动设置于所述轴体，并朝向所述管体进气端延伸以形成有朝向所述进气端的张角开口，以使所述弹性合页遮蔽部分所述第一流道，使得当所述抽气装置启动瞬间所述张角开口的开口程度增加，以降低气体经由所述第一流道流向所述抽气装置的流量； 所述弹性合页与所述轴体之间形成有供气体流通的通道，以在所述张角开口固定或者变化过程中供气体通过。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人申集半导体科技(徐州)有限公司，其通讯地址为：221300 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河路以北华山路以西半导体材料和设备产业园C2号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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