上海优睿谱半导体设备有限公司郑玉成获国家专利权
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龙图腾网获悉上海优睿谱半导体设备有限公司申请的专利一种用于晶圆侧边检测的U型光源获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223610008U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520088844.X，技术领域涉及：F21V19/00；该实用新型一种用于晶圆侧边检测的U型光源是由郑玉成设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆侧边检测的U型光源在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于晶圆侧边检测的U型光源，包括照明光源，所述照明光源包括多组灯条；多个聚光透镜，所述多个聚光透镜布置在所述多组灯条之前；匀光片，所述匀光片布置在所述多个聚光透镜之前，截面呈U型；以及外壳，所述外壳包括U型部分和竖直部分，所述竖直部分与所述匀光片相连；所述匀光片为所述U型光源的内表面，所述外壳为所述U型光源的外表面；所述照明光源和所述多个聚光透镜布置在所述外壳和所述匀光片包围的区域内；所述外壳和所述匀光片的中心布置有通光孔。本实用新型提供的用于晶圆侧边检测的U型光源，四组灯条的安装角度不同，提高了对不同倒角形态的兼容性，显著提高了明场检测背景的均匀性。
本实用新型一种用于晶圆侧边检测的U型光源在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆侧边检测的U型光源，其特征在于，包括： 照明光源，所述照明光源包括多组灯条，所述多组灯条被配置为发射照明光束； 多个聚光透镜，所述多个聚光透镜布置在所述多组灯条之前，所述聚光透镜用于减少所述照明光束的发散角度； 匀光片，所述匀光片布置在所述多个聚光透镜之前，所述匀光片呈U型；以及 外壳，所述外壳包括U型部分和竖直部分，所述竖直部分与所述匀光片相连； 所述匀光片为所述U型光源的内表面，所述外壳为所述U型光源的外表面；所述照明光源和所述多个聚光透镜布置在所述外壳和所述匀光片包围的区域内；所述外壳和所述匀光片的中心布置有通光孔。
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