上海高笙集成电路设备有限公司崔汉博获国家专利权
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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种半导体工艺设备的尾气处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223610137U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423269150.0，技术领域涉及：F23G7/06；该实用新型一种半导体工艺设备的尾气处理设备是由崔汉博;杜全成设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体工艺设备的尾气处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体工艺设备的尾气处理设备，该尾气处理设备的燃烧模块包括主燃烧腔体、辅燃烧腔体，主燃烧腔体和辅燃烧腔体之间间隔设置，形成供空气进入主燃烧腔体的通道；主燃烧腔体外部套设有第一隔热层和第二隔热层；第一隔热层和主燃烧腔体之间形成用于向主燃烧腔体提供空气的第一隔热腔；第二隔热层和第一隔热层之间形成用于流过冷却水的第二隔热腔；通过向主燃烧腔体提供空气能够使得尾气充分燃烧，充分去除尾气中的可燃烧的有害物质；同时，设置的第一隔热层和第二隔热层能够对主燃烧腔体起到双层隔热的作用，降低燃烧模块的温度。
本实用新型一种半导体工艺设备的尾气处理设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备的尾气处理设备，其特征在于，包括进气管组件、燃烧模块、第一水洗模块、喷淋水箱、第二水洗模块、冷凝模块以及排气管段；多组所述进气管组件设置在所述燃烧模块的上方；所述第一水洗模块设置在所述燃烧模块的下方，设置在所述喷淋水箱的上方；所述第二水洗模块设置在所述喷淋水箱上；所述冷凝模块设置在所述第二水洗模块上方；所述排气管段设置在所述冷凝模块上方；所述燃烧模块包括主燃烧腔体以及辅燃烧腔体；所述主燃烧腔体设置在所述辅燃烧腔体的下方，且与所述辅燃烧腔体之间间隔设置，形成供空气进入主燃烧腔体的流通通道；所述主燃烧腔体的外部罩设有第一隔热层；所述第一隔热层的外部罩设有第二隔热层；所述第一隔热层和所述主燃烧腔体之间形成用于向所述主燃烧腔体提供空气的第一隔热腔；所述第二隔热层和所述第一隔热层之间形成用于流过冷却水的第二隔热腔。
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