复拓科学仪器(苏州)有限公司张俊飞获国家专利权
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龙图腾网获悉复拓科学仪器(苏州)有限公司申请的专利一种自参考的双腔干涉测距探头获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223610790U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423165616.2,技术领域涉及:G01B11/02;该实用新型一种自参考的双腔干涉测距探头是由张俊飞;陈凡;陈小林设计研发完成,并于2024-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自参考的双腔干涉测距探头在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种自参考的双腔干涉测距探头,属于精密位移测量技术领域,包括宽度光源、分束器、光学准直器、透光参考片、样品和光谱仪,宽度光源发出的光经光纤耦合后进入光纤内,光在光纤中传输一段距离后经过分束器进入光学准直器,光学准直器把光纤端面出射后发散的光准直成发散角小的近似平行光,准直后的平行光透射透光参考片入射到样品的表面,光在三个表面发生部分反射,反射光传输一段距离后最终再次被耦合到光纤中,反射光再次经过分束器被光纤传输到光谱仪中采集并呈现出来;在探测光路中,加入经过计量的标准厚度透光参考片,利用标准厚度透光参考片的光学傅里叶变换后的厚度信息为样品到探头的距离提供更高精度标定。
本实用新型一种自参考的双腔干涉测距探头在权利要求书中公布了:1.一种自参考的双腔干涉测距探头,包括宽度光源1、分束器2、光学准直器3、透光参考片4、样品5和光谱仪6,其特征在于:所述宽度光源1发出的光经光纤耦合后进入光纤内,光在光纤中传输一段距离后经过所述分束器2进入所述光学准直器3,所述光学准直器3把光纤端面出射后发散的光准直成发散角小的近似平行光,准直后的平行光透射所述透光参考片4入射到所述样品5的表面,光在三个表面发生部分反射,反射光传输一段距离后最终再次被耦合到光纤中,反射光再次经过所述分束器2被光纤传输到光谱仪6中采集并呈现出来。
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