上海新微技术研发中心有限公司唐叶获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利一种MEMS测试座装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223610889U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423082369.X，技术领域涉及：G01D18/00；该实用新型一种MEMS测试座装置是由唐叶设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS测试座装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种MEMS测试座装置，包括上盖、底座和PCB板，所述PCB板上固定有所述底座和通讯插接件，所述上盖和所述底座配合使用时，所述上盖和所述底座内部形成一密封腔，所述密封腔内设置有进气口和出气口，所述进气口和所述出气口分别连通进气装置和出气装置，所述密封腔内还设置有检测区，所述检测区内设置有老化模块，所述老化模块上放置待测产品。本实用新型通过在MEMS测试座装置内设置专用气路，可以实现对气压或特定气体的测试需求，同时在检测区设置老化模块，实现对MEMS传感器的温度测试，从而兼容多种MEMS传感器测试验证需求，降低了实验室设备固定成本。
本实用新型一种MEMS测试座装置在权利要求书中公布了：1.一种MEMS测试座装置，其特征在于，包括上盖1、底座2和PCB板3，所述PCB板3上固定有所述底座2和通讯插接件4，所述上盖1和所述底座2配合使用时，所述上盖1和所述底座2内部形成一密封腔C，所述密封腔C内设置有进气口A和出气口B，所述进气口A和所述出气口B分别连通进气装置21和出气装置22，所述密封腔C内还设置有检测区5，所述检测区5内设置有老化模块6，所述老化模块6上放置待测产品7。
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