致真精仪(北京)科技有限公司张金娥获国家专利权
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龙图腾网获悉致真精仪(北京)科技有限公司申请的专利探针跟踪装置及原子力显微镜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223611543U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423078057.1，技术领域涉及：G01Q60/38；该实用新型探针跟踪装置及原子力显微镜是由张金娥;魏家琦;张学莹;王麟;李绍新;毕宗宇设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针跟踪装置及原子力显微镜在说明书摘要公布了：本申请涉及原子力显微镜技术领域，公开一种探针跟踪装置，包括探针组件和光路组件。探针组件包括位移装置和设置于位移装置的探针。光路组件包括光源、第一反射镜、第二反射镜和位置探测器，第一反射镜、第二反射镜、探针的相对位置固定。光源发出的检测光经第一反射镜和第二反射镜反射后射向探针的第一位置，经探针、第二反射镜和第一反射镜反射后射向位置探测器的第二位置。通过使位移装置、第一反射镜和第二反射镜的相对位置固定，实现探针跟踪。并且，仅设置两个反射镜，减少了光学元件的数量，降低了光路对准的难度，从而能够减少任意反射镜位置变动造成的光路变动对检测过程的影响，使检测结果更加精确。本申请还公开一种原子力显微镜。
本实用新型探针跟踪装置及原子力显微镜在权利要求书中公布了：1.一种探针跟踪装置，其特征在于，包括： 探针组件，包括位移装置和设置于位移装置的探针； 光路组件，包括光源、第一反射镜、第二反射镜和位置探测器，第一反射镜、第二反射镜、探针的相对位置固定； 其中，光源发出的检测光经第一反射镜和第二反射镜反射后射向探针的第一位置，经探针、第二反射镜和第一反射镜反射后射向位置探测器的第二位置。
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