杭州积海半导体有限公司赵利华获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州积海半导体有限公司申请的专利一种自动更换探针卡的探针台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223611586U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422917527.2，技术领域涉及：G01R1/067；该实用新型一种自动更换探针卡的探针台是由赵利华;吴昌付;杨峰设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动更换探针卡的探针台在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种自动更换探针卡的探针台，涉及半导体制造设备技术领域，探针台包括：仓门主体，安装在探针台的机台本体上，其中仓门主体中设置储存槽；储存盒，固定在储存槽中，其中储存盒中安装多层承装结构，且承装结构允许探针卡的装入；机械手装置，安装在机台本体中，其中机械手装置包括多个机械臂，且多个机械臂的端部依次转动连接后形成传动链，在仓门主体关闭时，允许传动链的另一端伸入储存盒内；以及吸附结构，安装在传动链的另一端，在更换探针卡时，允许传动链带吸附结构沿垂直于探针卡的方向移动，且允许传动链带吸附结构转动，其中吸附结构可吸附连接于任一探针卡的表面。本实用新型能够实现探针卡的高效自动更换。
本实用新型一种自动更换探针卡的探针台在权利要求书中公布了：1.一种自动更换探针卡的探针台，其特征在于，包括： 仓门主体，安装在所述探针台的机台本体上，其中所述仓门主体中设置储存槽； 储存盒，固定在所述储存槽中，其中所述储存盒中安装多层承装结构，且所述承装结构允许所述探针卡的装入； 机械手装置，安装在所述机台本体中，其中所述机械手装置包括多个机械臂，且多个所述机械臂的端部依次转动连接后形成传动链，在所述仓门主体关闭时，允许所述传动链的另一端伸入所述储存盒内；以及 吸附结构，安装在所述传动链的另一端，在更换所述探针卡时，允许所述传动链带所述吸附结构沿垂直于所述探针卡的方向移动，且允许所述传动链带所述吸附结构转动，其中所述吸附结构可吸附连接于任一所述探针卡的表面。
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