合光光掩模科技(安徽)有限公司刘向南获国家专利权
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龙图腾网获悉合光光掩模科技(安徽)有限公司申请的专利光掩模承载组件以及量测机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223611836U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423320108.7，技术领域涉及：G03F1/84；该实用新型光掩模承载组件以及量测机台是由刘向南设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本光掩模承载组件以及量测机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种光掩模承载组件以及量测机台，光掩模承载组件包括：载台；载台具有取放口，取放口由载台的侧壁围合形成，用于取放光掩模，取放口的尺寸大于光掩模的尺寸；侧壁的内边沿设置有朝向取放口伸出的承载件；侧壁上还设置有固定装置，固定装置沿靠近或远离光掩模的方向可移动；光掩模置于载台后，固定装置沿靠近光掩模的方向伸出，以与光掩模相抵靠。如此配置，通过增大取放口的尺寸，使得在取放光掩模的过程中，光掩模与取放口之间发生刮蹭的概率降低；同时，在载台的侧壁上设置可沿靠近或远离光掩模的方向移动的固定装置，提升了光掩模的固定效果，也使得光掩模在量测过程中不产生位移，提升了量测精度，保证了光掩模产品的良率。
本实用新型光掩模承载组件以及量测机台在权利要求书中公布了：1.一种光掩模承载组件，其特征在于，包括：供光掩模放置的载台； 所述载台具有取放口，所述取放口由所述载台的侧壁围合形成，用于取放所述光掩模，所述取放口的尺寸大于所述光掩模的尺寸； 所述侧壁的内边沿设置有朝向所述取放口伸出的承载件，所述承载件用于承载所述光掩模；所述侧壁上还设置有固定装置，所述固定装置沿靠近或远离所述光掩模的方向可移动； 所述光掩模置于所述载台后，所述固定装置沿靠近所述光掩模的方向伸出，以与所述光掩模相抵靠。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合光光掩模科技(安徽)有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港经济示范区硕放路1号新桥集成电路科技园研发楼103-3室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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