迪盛微(江苏)装备科技有限公司陈国军获国家专利权
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龙图腾网获悉迪盛微(江苏)装备科技有限公司申请的专利一种光刻机构和曝光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223611837U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421802158.6，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机构和曝光装置是由陈国军;吴景舟;马迪设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机构和曝光装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种光刻机构和曝光装置，光刻机构：蚀刻组件，用于发出蚀刻用的激光；视觉组件，用于获取待蚀刻工件的图案信息；镜片箱，与蚀刻组件和视觉组件均固定连接，镜片箱形成有蚀刻组件与待蚀刻工件之间的第一导光通道，以及待蚀刻工件与视觉组件之间的第二导光通道，通过光刻机构完成视觉定位和蚀刻可以避免误差叠加，即使存在误差，但通过光刻机构进行完成定位和蚀刻，误差的计算简单并且针对出现的误差，容易对误差进行补偿。
本实用新型一种光刻机构和曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻机构，其特征在于，包括： 蚀刻组件5，用于发出蚀刻用的激光； 视觉组件4，用于获取待蚀刻工件3的图案信息； 镜片箱6，与所述蚀刻组件5和所述视觉组件4均固定连接，所述镜片箱6形成有所述蚀刻组件5与所述待蚀刻工件3之间的第一导光通道，以及所述待蚀刻工件3与所述视觉组件4之间的第二导光通道。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人迪盛微(江苏)装备科技有限公司，其通讯地址为：213116 江苏省常州市武进区常武中路18-67号常州科教城16幢1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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