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龙图腾网获悉深圳稳顶聚芯技术有限公司申请的专利一种板库机构及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223611838U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422099234.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种板库机构及光刻机是由陈海霞;阙国锋;陈恒设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种板库机构及光刻机在说明书摘要公布了：本申请主要是涉及一种板库机构及光刻机，板库机构用于光刻机，板库机构包括：板库包括承载主体以及多个间隔设置的承载盒；姿态调节机构设置有用于支撑掩模版的第一承载平面，至少用于调整从光刻机的掩模台运回至姿态调节机构的掩模版在第一承载平面内的姿态；第一运输机构将经过姿态调节机构姿态调节后的掩模版从姿态调节机构并经开口运输至承载盒容纳空间；其中，容纳空间内设置有用于支撑掩模版的第二承载平面，第二承载平面开口的开口方向平行设置，与第一承载平面平行设置。通过上述方式，能有效地简化第一运输机构的结构的同时，还能更精确地将掩模版运回至容纳空间，减小掩模版发生损坏的概率。

本实用新型一种板库机构及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种板库机构，其特征在于，用于光刻机，所述板库机构包括： 板库，包括承载主体以及设置于所述承载主体的多个间隔设置的承载盒，所述承载盒包括盒本体以及盖体，所述盒本体设置有一具有开口的容纳空间，用于容纳掩模版，所述盖体与所述盒本体活动连接，用于选择性的打开或关闭所述开口； 姿态调节机构，设置有用于支撑所述掩模版的第一承载平面，至少用于调整从所述光刻机的掩模台运回至所述姿态调节机构的所述掩模版在所述第一承载平面内的姿态； 第一运输机构，包括第一运动机构以及设置于所述第一运动机构上的第一抓取机构，所述第一抓取机构用于抓取所述掩模版，所述第一运动机构用于带动所述第一抓取机构相对所述板库以及所述姿态调节机构运动，以将经过所述姿态调节机构姿态调节后的所述掩模版从所述姿态调节机构并经所述开口运输至所述容纳空间； 其中，所述容纳空间内设置有用于支撑所述掩模版的第二承载平面，所述第二承载平面所述开口的开口方向平行设置，与所述第一承载平面平行设置。

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