傲迪特半导体(南京)有限公司茆宏获国家专利权
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龙图腾网获悉傲迪特半导体(南京)有限公司申请的专利一种半导体光刻胶高效清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223611839U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423229570.6，技术领域涉及：G03F7/42；该实用新型一种半导体光刻胶高效清洁装置是由茆宏;宁江斌;郁言威;高兴;陆嘉黎;李民;王耽耽设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体光刻胶高效清洁装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体光刻胶高效清洁装置，涉及光刻胶清洁技术领域，包括加热炉本体，加热炉本体内底面设置有滑板，滑板内部设置有丝杆，丝杆端部设置有第一电机，滑板上端部边缘处固设有支撑柱，支撑柱上端外侧周向固设有若干均匀分布的第一连接板，第一连接板端部固设有固定环，固定环内部设置有转动环，支撑柱上端内部设置有第二电机，第二电机驱动若干转动环同步转动，转动环内部设置有升降柱，支撑柱外侧套设有驱动环，驱动环旋转升降运动驱动若干升降柱同步垂直升降运动，转动环上端内侧用于卡合晶圆；本实用新型通过对批量晶圆旋转加热，使其背面光刻胶均匀受热膨胀脱落，提高清洁效率以及效果。
本实用新型一种半导体光刻胶高效清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体光刻胶高效清洁装置，包括加热炉本体1，其特征在于：所述加热炉本体1内底面设置有滑板2，滑板2内部设置有丝杆3，丝杆3端部设置有第一电机4，滑板2上端部边缘处固设有支撑柱5，支撑柱5上端外侧周向固设有若干均匀分布的第一连接板6，第一连接板6端部固设有固定环7，固定环7内部设置有转动环8，支撑柱5上端内部设置有第二电机13，第二电机13驱动若干转动环8同步转动，转动环8内部设置有升降柱14，支撑柱5外侧套设有驱动环17，驱动环17旋转升降运动驱动若干升降柱14同步垂直升降运动，转动环8上端内侧用于卡合晶圆。
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