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龙图腾网获悉豪威半导体(上海)有限责任公司申请的专利探针台测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612368U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423210723.2，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型探针台测试装置是由谢健;徐斌;杨学良设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本探针台测试装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种探针台测试装置，探针台中的探针卡的周圈固定有第一连接器；图像采集板的底部周圈设置有第二连接器；图像采集板卡的靠下位置设置有第一轴承；锁环的侧壁上分布有导轨槽和卡槽；导轨槽包括连通的低位段、斜坡段和高位段；定位块上设置有第二轴承，第二轴承位于导轨槽中；手柄旋转带动导轨槽的低位段和斜坡段依次经过第二轴承位置，第二轴承在导轨槽经过时旋转且下压锁环；同时，卡压结构旋转经过第一轴承位置，且上卡板下压第一轴承，从而使第二连接器下降与静止的第一连接器对插电连接。通过锁环旋转实现了第二连接器与第一连接器的精确且稳定对插接触，提高探针卡测试晶圆的良率，降低了接触问题导致的测试良率损失。

本实用新型探针台测试装置在权利要求书中公布了：1.一种探针台测试装置，其特征在于，包括： 探针台，所述探针台的凹陷空间内固定有探针卡，所述探针卡的周圈固定有第一连接器，所述探针台上固定有沿Z方向的定位凸起； 图像采集板卡，所述图像采集板卡位于所述探针卡上方且底部周圈设置有第二连接器；所述图像采集板卡中设置有定位凹陷，所述定位凹陷与所述定位凸起对插限位；所述图像采集板卡的靠下位置设置有第一轴承； 锁环，所述锁环的环形平面平行于所述探针台上表面，且所述锁环的下表面与所述探针台上表面间隔预设距离；所述锁环的周圈侧壁上分布有均贯通所述侧壁的导轨槽和卡槽；所述锁环位于所述卡槽的上方部分向径向圆心方向延伸出上卡板，所述锁环位于所述卡槽的下方部分向径向圆心方向延伸出下卡板；所述上卡板、所述卡槽和所述下卡板共同构成针对所述第一轴承的卡压结构；所述导轨槽包括连通的低位段、斜坡段和高位段；所述锁环外侧固定有手柄， 定位块，所述定位块固定在所述探针台上，所述定位块上设置有第二轴承，所述第二轴承位于所述导轨槽中； 所述第二连接器下降过程：所述手柄旋转且从高处旋转到低处，带动所述导轨槽的低位段和斜坡段依次经过所述第二轴承位置，所述第二轴承在所述导轨槽经过时旋转且下压所述锁环；同时，所述卡压结构旋转经过所述第一轴承位置，且所述上卡板下压所述第一轴承，从而使所述第二连接器下降与静止的所述第一连接器对插电连接。

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