至微半导体(上海)有限公司季恺获国家专利权
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龙图腾网获悉至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种可调式鼓泡结构和晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612370U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422971834.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种可调式鼓泡结构和晶圆清洗装置是由季恺;吴凌峰;陈军宇设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调式鼓泡结构和晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种可调式鼓泡结构和晶圆清洗装置，可调式鼓泡结构包括主管和鼓泡管，鼓泡管包括鼓泡管段和连接管段，鼓泡管段的前端、中间端和后端均通过连接管段和主管连通，鼓泡管段上设有鼓泡孔；流量调节机构，用于通过挤压连通鼓泡管段的前端和主管的连接管段、以及连通鼓泡管段的中间端和主管的连接管段进行气体流量调节。通过对现有的鼓泡管结构的基础上增减流量调节机构，对鼓泡管的鼓泡区域进行鼓泡效果的调节，不必额外进行鼓泡管结构的设计，降低成本，减少气体和清洗剂的无效损耗，缩短工艺时间，提高生产效率。
本实用新型一种可调式鼓泡结构和晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种可调式鼓泡结构，其特征在于，包括： 主管； 鼓泡管，所述鼓泡管包括鼓泡管段和连接管段，所述鼓泡管段的前端、中间端和后端均通过所述连接管段和所述主管连通，所述鼓泡管段上设有鼓泡孔； 流量调节机构，用于通过挤压连通所述鼓泡管段的前端和所述主管的连接管段、以及连通所述鼓泡管段的中间端和所述主管的连接管段进行气体流量调节。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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