上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司包钊华获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种定位测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612372U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423034044.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种定位测量装置是由包钊华;吴亮亮设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种定位测量装置在说明书摘要公布了：本申请涉及移载定位领域，公开了一种定位测量装置，包括：底板，底板的上表面设有导向槽和横行定位线，横行定位线与导向槽的长度方向垂直；可动部件，可动部件的第一端位于导向槽中并在导向槽中延长度方向移动，可动部件的第二端设有角度刻度线；分布有第一刻度的横行测量尺，固定于可动部件，随着可动部件的移动，通过第一刻度与横行定位线确定横行偏差量；设有旋回定位线的旋回测量板，与可动部件的第二端转动连接，随着可动部件的移动与待移载部件贴合，并随着可动部件的转动，通过角度刻度线与旋回定位线确定旋回偏差角。通过本申请中的定位测量装置，可以精准的确定出待移载部件的横行偏差量和旋回偏差角，以便于待移载部件的准确定位。
本实用新型一种定位测量装置在权利要求书中公布了：1.一种定位测量装置，其特征在于，包括： 底板，所述底板的上表面设有导向槽和横行定位线，所述横行定位线与所述导向槽的长度方向垂直； 可动部件，所述可动部件的第一端位于所述导向槽中并在所述导向槽中延长度方向移动，所述可动部件的第二端设有角度刻度线； 分布有第一刻度的横行测量尺，固定于所述可动部件，随着所述可动部件的移动，通过所述第一刻度与所述横行定位线确定横行偏差量； 设有旋回定位线的旋回测量板，与所述可动部件的第二端转动连接，随着所述可动部件的移动与待移载部件贴合，并随着所述可动部件的转动，通过所述角度刻度线与所述旋回定位线确定旋回偏差角。
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