辰轩半导体设备(江苏)有限公司胡小辉获国家专利权
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龙图腾网获悉辰轩半导体设备(江苏)有限公司申请的专利晶片正反面冲洗定心甩干机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612374U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423073866.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶片正反面冲洗定心甩干机构是由胡小辉设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片正反面冲洗定心甩干机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开的一种晶片正反面冲洗定心甩干机构，包括固定盘以及设置在固定盘顶部的外壳；外壳内部同圆心设置有水槽，水槽内壁设置有至少两组喷头；水槽内侧中心位置设置有可旋转的治具，治具上方设置有多个微孔吸盘；治具两端对称设置有两个定心夹爪，定心夹爪底部设置有夹爪张合气缸，夹爪张合气缸底部配合连接有夹爪升降组件，夹爪升降组件固定安装在固定盘的底部；通过设置仿形定心夹爪可以牢固的贴合在晶片的外边缘，保证晶片的牢固固定，防止旋转甩干时，晶片飞出，提高晶片甩干安全性，此外，在清洗晶片与甩干晶片过程中灵活控制水槽升降，可以晶片清洗甩干时，水槽上升阻挡晶片旋转时水花飞溅，甩干完成后水槽下降，防止水槽滴液。
本实用新型晶片正反面冲洗定心甩干机构在权利要求书中公布了：1.一种晶片正反面冲洗定心甩干机构，包括：固定盘以及设置在固定盘顶部的外壳；其特征在于， 所述外壳内部同圆心设置有水槽，所述水槽内壁设置有至少两组喷头； 所述水槽内侧中心位置设置有可旋转的治具，所述治具上方设置有多个微孔吸盘； 所述治具两端对称设置有两个定心夹爪，所述定心夹爪底部设置有夹爪张合气缸； 所述夹爪张合气缸底部配合连接有夹爪升降组件，所述夹爪升降组件固定安装在固定盘的底部。
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