扬州扬杰电子科技股份有限公司刘菲获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州扬杰电子科技股份有限公司申请的专利改善D-Poly膜厚均匀性的散流板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612375U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423084006.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型改善D-Poly膜厚均匀性的散流板是由刘菲;邹威;王毅设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本改善D-Poly膜厚均匀性的散流板在说明书摘要公布了：改善D‑Poly膜厚均匀性的散流板，涉及半导体加工设备技术领域。包括外侧板、内侧板和连接杆。外侧板底部设有与晶片舟适配的豁口部一；外侧板上设有若干均布设置的通孔一；内侧板，底部设有与晶片舟适配的豁口部二；内侧板上设有若干均布设置的通孔二；通孔二的直径小于通孔一的直径；通孔二的数量大于通孔一的数量；将晶圆安放在舟上之后，前端和尾端分别放置散流板，散流板的内侧板朝向晶圆方向；气体从弥散管的孔向上流出，经过圆片进行反应，反应气体主要在硅片表面流动，散流板可以使反应气体更稳定饱和，降低气体流失的速度，使气体充分反应，提升均匀性。
本实用新型改善D-Poly膜厚均匀性的散流板在权利要求书中公布了：1.改善D-Poly膜厚均匀性的散流板，其特征在于，包括： 外侧板，底部设有与晶片舟适配的豁口部一；所述外侧板上设有若干均布设置的通孔一； 内侧板，底部设有与晶片舟适配的豁口部二；所述内侧板上设有若干均布设置的通孔二；所述通孔二的直径小于通孔一的直径；所述通孔二的数量大于通孔一的数量； 连接杆，设有若干，分别固定设置在所述内侧板与外侧板之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人扬州扬杰电子科技股份有限公司，其通讯地址为：225008 江苏省扬州市邗江区平山堂北路江阳创业园三期；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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