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广东科卓半导体设备有限公司魏余红获国家专利权

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龙图腾网获悉广东科卓半导体设备有限公司申请的专利双通道高效晶圆分选机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223612376U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423087637.7,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型双通道高效晶圆分选机是由魏余红;黄燕荣设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

双通道高效晶圆分选机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆分选机技术领域,公开了双通道高效晶圆分选机,包括主体,所述主体的内部固定连接有驱动源,所述驱动源的驱动端固定连接有机械臂,所述机械臂一侧转动连接有两个转动块,两个所述转动块的内部均滑动连接有两个滑动块,所述滑动块的内侧固定连接有滑动板,所述滑动板的一侧固定连接有限制块,所述滑动板的外侧滑动连接有连接块,所述连接块远离限制块的一侧固定连接有夹具,所述主体的四周均固定连接有用于对其进行限制的限制组件。本实用新型中,而不需要为每种尺寸的晶圆都配备专门的分选设备,这对于半导体制造企业来说,可以大大降低设备采购成本,提高设备的资产利用率。

本实用新型双通道高效晶圆分选机在权利要求书中公布了:1.双通道高效晶圆分选机,包括主体1,其特征在于:所述主体1的内部固定连接有驱动源3,所述驱动源3的驱动端固定连接有机械臂4,所述机械臂4一侧转动连接有两个转动块5,两个所述转动块5的内部均滑动连接有两个滑动块6,所述滑动块6的内侧固定连接有滑动板7,所述滑动板7的一侧固定连接有限制块9,所述滑动板7的外侧滑动连接有连接块10,所述连接块10远离限制块9的一侧固定连接有夹具11,所述主体1的四周均固定连接有用于对其进行限制的限制组件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东科卓半导体设备有限公司,其通讯地址为:523465 广东省东莞市南城街道黄金路1号天安数码城6栋7单元201室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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