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龙图腾网获悉江苏钰晶半导体科技有限公司申请的专利一种半导体加工用镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612377U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423104840.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体加工用镀膜设备是由王茂荣设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体加工用镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体加工用镀膜设备，包括：工作台，所述工作台的顶部设置有装夹组件，所述装夹组件的数量设置有两个，并且左右对称分布，所述装夹组件包括固定板、转板、侧电动杆、夹板和软垫，所述固定板的底部与工作台固定连接，所述固定板上转动连接有转板，所述转板远离固定板的一侧固定连接有侧电动杆，所述侧电动杆远离转板的一侧固定连接有夹板，所述夹板远离侧电动杆的一侧固定连接有软垫，右侧所述固定板的右侧壁上固定连接有电机。通过设置收集盒、上过滤网、下过滤网、连接管和抽气泵，在进行镀膜时，启动抽气泵，可承接上方镀膜粉尘，从而对多余的镀膜材料进行集中收集，节约镀膜材料。

本实用新型一种半导体加工用镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体加工用镀膜设备，包括：工作台1，其特征在于，所述工作台1的顶部设置有装夹组件，所述装夹组件的数量设置有两个，并且左右对称分布，所述装夹组件包括固定板2、转板3、侧电动杆4、夹板5和软垫6，所述固定板2的底部与工作台1固定连接，所述固定板2上转动连接有转板3，所述转板3远离固定板2的一侧固定连接有侧电动杆4，所述侧电动杆4远离转板3的一侧固定连接有夹板5，所述夹板5远离侧电动杆4的一侧固定连接有软垫6，右侧所述固定板2的右侧壁上固定连接有电机7，所述电机7的左侧输出端与转板3固定连接，所述工作台1的顶部固定连接有收集盒8，所述收集盒8的内部固定连接有上过滤网9和下过滤网10，所述下过滤网10的目数为上过滤网9的两倍，所述收集盒8的底部固定连接有连接管11，所述连接管11的底部固定连接有抽气泵12，所述工作台1的上方设置有玻璃罩13，所述玻璃罩13的内部顶面设置有滑槽14，所述滑槽14的内部滑动连接有滑块15所述滑块15的底部固定连接有上电动杆16，所述上电动杆16的底部固定连接有移动板17，所述移动板17的底部固定连接有镀膜喷头18，所述滑块15的右侧壁上固定连接有顶电动杆19，所述玻璃罩13的内部顶面固定连接有主电动杆20。

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