上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司叶杰民获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利刻蚀设备用的内胆及刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612379U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423132267.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型刻蚀设备用的内胆及刻蚀设备是由叶杰民;储世杰;胡邦明;王明明设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本刻蚀设备用的内胆及刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种刻蚀设备用的内胆及刻蚀设备，刻蚀设备中设有由壳体围成的刻蚀腔，内胆用于置于刻蚀腔中且贴合壳体设置，所述内胆包括可拆卸相连的底部护胆和腔壁护胆，所述腔壁护胆上具有供基材传输的传输窗口以及供检测机构设置的检测窗口，所述底部护胆和所述腔壁护胆通过定位结构定位相连。本实用新型内胆采用可拆卸相连的结构方式，易于将其分步安装至壳体内的刻蚀腔内，同样易于从刻蚀设备的刻蚀腔内拿取，因此，在刻蚀设备的刻蚀腔需维护时，仅需将本实用新型的内胆取出再移至清洗区清洗即可，省时省力，无需在刻蚀腔内直接操作。
本实用新型刻蚀设备用的内胆及刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀设备用的内胆，所述刻蚀设备中设有由壳体围成的刻蚀腔，其特征在于：所述内胆用于置于所述刻蚀腔中且贴合所述壳体设置，所述内胆包括可拆卸相连的底部护胆和腔壁护胆，所述腔壁护胆上具有供基材传输的传输窗口以及供检测机构设置的检测窗口，所述底部护胆和所述腔壁护胆通过定位结构定位相连。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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