江苏昕感科技有限责任公司邱士越获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏昕感科技有限责任公司申请的专利一种高温注入设备的晶圆预加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612382U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423231335.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种高温注入设备的晶圆预加热装置是由邱士越;邸太平;王明军设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高温注入设备的晶圆预加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及高温注入设备技术领域，尤其是一种高温注入设备的晶圆预加热装置，包括：机体以及安装在所述机体轴端上的第一机械臂；在所述第一机械臂的底座上通过连接组件固定连接有预热箱，所述预热箱的内部固定安装有第二机械臂；其中所述预热箱的前端开口，所述第二机械臂的夹持端沿所述开口进、出，以实现对晶圆的取拿，本实用新型中通过采用预热箱的设计，通过第二机械臂在移载晶圆时，可内置在预热箱中进行提前预热，可实现提前在传送至吸盘上之前加热晶圆,减少晶圆在吸盘上加热时间,从而提高生产效率，在第一机械臂移出和第二机械臂移进的配合下，使其拥有传输晶圆和加热晶圆的功能，进一步提升晶圆加热作业的效率。
本实用新型一种高温注入设备的晶圆预加热装置在权利要求书中公布了：1.一种高温注入设备的晶圆预加热装置，其特征在于，包括： 机体1以及安装在所述机体1轴端上的第一机械臂2； 在所述第一机械臂2的底座上通过连接组件3固定连接有预热箱4，所述预热箱4的内部固定安装有第二机械臂5； 其中所述预热箱4的前端开口，所述第二机械臂5的夹持端沿所述开口进、出，以实现对晶圆的取拿，在所述预热箱4的顶部安装有加热单元6。
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