江苏三米科思半导体设备有限公司方柯获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏三米科思半导体设备有限公司申请的专利一种恒温系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612385U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520265466.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种恒温系统是由方柯设计研发完成，并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种恒温系统在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体晶圆缺陷检测技术领域，具体涉及一种恒温系统，本恒温系统包括：控制模块、热交换机构、送风机构、若干风量调节机构和若干腔室；热交换机构将热量传递给送风机构，以使送风机构向各风量调节机构吹出热风；各风量调节机构分别调整相应开度，以调节吹向对应腔室内热风的风量；控制模块被配置为控制热交换机构的换热温度，以控制送风机构吹出热风的温度；本实用新型通过热交换机构配合送风机构将热量传递给净风，并且风量调节机构能够保证各个腔室的温度维持在设定温度，避免腔室内温度发生骤变，实现稳定精密零件的精度、寿命，并且提高缺陷检测的精度。
本实用新型一种恒温系统在权利要求书中公布了：1.一种恒温系统，其特征在于，包括： 控制模块、热交换机构1、送风机构2、若干风量调节机构3和若干腔室4；其中 所述送风机构2与热交换机构1连接，各所述风量调节机构3分别与送风机构2连接，各所述腔室4分别与对应的风量调节机构3连接； 所述热交换机构1与控制模块电性相连； 所述热交换机构1适于将热量传递给送风机构2，以使所述送风机构2向各风量调节机构3吹出热风； 各所述风量调节机构3适于分别调整相应开度，以调节吹向对应所述腔室4内热风的风量； 所述控制模块被配置为控制热交换机构1的换热温度，以控制所述送风机构2吹出热风的温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏三米科思半导体设备有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市天宁区常州检验检测产业园5号楼101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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