江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种提拉式晶圆转运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612390U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423074521.X，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种提拉式晶圆转运装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提拉式晶圆转运装置在说明书摘要公布了：本实用新型的实施例提供了一种提拉式晶圆转运装置，涉及晶圆加工技术的领域。本实用新型提供的一种提拉式晶圆转运装置包括片叉、夹持组件与支撑组件，片叉是用于承载晶圆的夹具，夹持组件设置于片叉上，夹持组件用于对晶圆进行夹持；支撑组件设置于片叉上，支撑组件用于对晶圆进行支撑并使晶圆与片叉之间存在间距。片叉具有对称轴线，转运装置还包括在夹持组件和或支撑组件上设置的导流结构，导流结构与晶圆抵持，并用于引导晶圆上导流结构处的液体沿对称轴线方向流动。本实用新型提供的一种提拉式晶圆转运装置用于改善晶圆提拉转运过程中液体积聚在卡持件附近的问题，从而提升晶圆的加工质量。
本实用新型一种提拉式晶圆转运装置在权利要求书中公布了：1.一种提拉式晶圆转运装置，其特征在于，包括： 片叉，用于承载晶圆的夹具； 夹持组件，所述夹持组件设置于所述片叉上，所述夹持组件用于对晶圆进行夹持； 支撑组件，所述支撑组件设置于所述片叉上，所述支撑组件用于对晶圆进行支撑，并使晶圆与所述片叉之间存在间距； 其中，所述片叉具有对称轴线，所述转运装置还包括在所述夹持组件和或所述支撑组件上设置的导流结构，所述导流结构与晶圆抵持，并用于引导晶圆上所述导流结构处的液体沿所述对称轴线方向流动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司，其通讯地址为：215121 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励