大连皓宇电子科技有限公司李玉慧获国家专利权
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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种晶圆盒装载门获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223612392U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423161246.5,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种晶圆盒装载门是由李玉慧;张正中;王正国设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒装载门在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆盒装载门,包括:移动门、导向组件及驱动组件;移动门安装在半导体设备的机架上,导向组件对移动门在竖直方向上的往复运动进行导向,驱动组件驱动移动门运动;驱动组件包括:安装在机架上的旋转驱动器、曲柄及连杆;旋转驱动器驱动曲柄旋转,连杆一端与曲柄转动连接、另一端与移动门转动连接。本实用新型通过旋转驱动器驱动曲柄旋转,曲柄带动连杆进而带动移动门运动,实现移动门的打开和关闭;旋转驱动器、曲柄和连杆的驱动组件相对于现有的气缸等直线驱动在实现移动门相同的行程时,能够节省空间。
本实用新型一种晶圆盒装载门在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒装载门,其特征在于,包括:移动门1、导向组件2及驱动组件;所述移动门1安装在半导体设备的机架9上,所述导向组件2对所述移动门1在竖直方向上的往复运动进行导向,所述驱动组件驱动所述移动门1运动; 所述驱动组件包括:安装在所述机架9上的旋转驱动器31、曲柄32及连杆33;所述旋转驱动器31驱动所述曲柄32旋转,所述连杆33一端与所述曲柄32转动连接、另一端与所述移动门1转动连接。
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