天津龙创恒盛实业有限公司王轩获国家专利权
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龙图腾网获悉天津龙创恒盛实业有限公司申请的专利一种可增程搬运多规格晶圆的机器人获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612394U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520236974.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种可增程搬运多规格晶圆的机器人是由王轩;杨松楷;张东设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可增程搬运多规格晶圆的机器人在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可增程搬运多规格晶圆的机器人，属于晶圆设备技术领域，包括：底座，所述底座上设置有增程移动机构，所述增程移动机构上安装有伸缩移动机构，所述伸缩移动机构上设置有取片机构，所述底座上设置有至少一个晶圆盒。本申请兼容多规格晶圆：能够同时搬运6寸、8寸、12寸等多种常用规格的晶圆片，极大提升了设备的通用性和灵活性。提升搬运效率和精准度：通过增程移动机构和伸缩移动机构的组合，实现了多自由度的移动，从而扩大了机器人的运行行程，并提高了搬运过程中的定位精度。自适应调整机制：根据晶圆的不同尺寸，自动调整牙叉的位置和间距，保证了各种规格晶圆片的稳定抓取，避免了操作失误和晶圆污染。
本实用新型一种可增程搬运多规格晶圆的机器人在权利要求书中公布了：1.一种可增程搬运多规格晶圆的机器人，其特征在于，包括：底座1，所述底座1上设置有增程移动机构2，所述增程移动机构2上安装有伸缩移动机构3，所述伸缩移动机构3上设置有取片机构4，所述底座1上设置有至少一个晶圆盒5。
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