安徽万维克林精密装备有限公司周尤获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽万维克林精密装备有限公司申请的专利一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的N2 Purge改造装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612395U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520242446.9，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的N2 Purge改造装置是由周尤;张梦想设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的N2 Purge改造装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的N2Purge改造装置，涉及半导体技术领域，包括：平台板；设置在所述平台板上方的连接底座，所述连接底座的上端连接有FOUP盒子，所述连接底座的中部下方左侧设置有FOUP监测Sensor，所述FOUP盒子的左端下侧设置有与连接底座相连接的进气胶垫，所述平台板的下端左侧设置有进气管路，所述平台板的下端右侧设置有排气管路；解决现有Loadport台面上的固定规格尺寸的胶盘种类较多，对设备改造升级不便，常常需要更换不同尺寸规格的胶盘满足FOUP进出气口的密封，降低生产效率，延长设备改造、调试时间，同时，FOUP盒子在拿取晶圆时不便于进行开合操作，易给操作人员带来困难，浪费劳动力技术问题。
本实用新型一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的N2 Purge改造装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆FOUP自动装载机Loadport的N2Purge改造装置，其特征在于，包括； 平台板1； 设置在所述平台板1上方的连接底座2，所述连接底座2的上端连接有FOUP盒子3，所述连接底座2的中部下方左侧设置有FOUP监测Sensor4，所述FOUP盒子3的左端下侧设置有与连接底座2相连接的进气胶垫5，所述FOUP盒子3的右端下侧设置有与连接底座2相连接的排气胶垫8，所述平台板1的下端左侧设置有进气管路7，所述平台板1的下端右侧设置有排气管路10； 所述FOUP盒子3的左右两端下侧均设置有安装盒13，所述FOUP盒子3的前方设置有密封端盖18，所述密封端盖18的后端中部设置有与FOUP盒子3相连接的密封件19。
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