江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种伯努利吸盘及晶圆处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612401U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423075862.9，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种伯努利吸盘及晶圆处理设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种伯努利吸盘及晶圆处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种伯努利吸盘及晶圆处理设备，涉及晶圆设备领域。该伯努利吸盘包括：吸盘主体，表面开设有环形的喷气口，且吸盘主体内部设置有环形的进气槽与过渡通道，进气槽通过过渡通道与喷气口周向连通，且进气槽的槽壁上设置有与外部气源连通的进气孔；匀流板，呈环状，与吸盘主体连接并周向封盖进气槽，匀流板上均匀分布有多个匀流孔，进气槽通过多个匀流孔与过渡通道连通。本实用新型提供的伯努利吸盘喷气流速均匀，吸附效果更加稳定可靠，使用安全性更高。
本实用新型一种伯努利吸盘及晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种伯努利吸盘，其特征在于，包括： 吸盘主体110，表面开设有环形的喷气口111，且所述吸盘主体110内部设置有环形的进气槽112与过渡通道113，所述进气槽112通过所述过渡通道113与所述喷气口111周向连通，且所述进气槽112的槽壁上设置有与外部气源连通的进气孔114； 匀流板120，呈环状，与所述吸盘主体110连接并周向封盖所述进气槽112，所述匀流板120上均匀分布有多个匀流孔121，所述进气槽112通过多个所述匀流孔121与所述过渡通道113连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司，其通讯地址为：215121 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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