浙江百盛光电股份有限公司吴怡平获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江百盛光电股份有限公司申请的专利一种晶圆产品双面吸盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223612402U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423126410.9,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种晶圆产品双面吸盘是由吴怡平;卜志超;何鑫;陈跃华设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆产品双面吸盘在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆产品双面吸盘,包括兰接头,所述法兰接头远离法兰面的一端中部开设有铝板固定槽,所述法兰接头靠近法兰面的一端中心处上下开设有气管槽,两个所述气管槽的内部均设置有气管接头,所述铝板固定槽的内部上方设置有上铝板,所述铝板固定槽的内部下方设置有下铝板,所述上铝板与下铝板之间设置有分隔铝板。本实用新型设置的上铝板、下铝板和分隔铝板,配合气路槽可在螺栓的固定下,通过上下两块铝板上开辟气路,并采用中间铝板进行上下气路的分隔形成吸盘气路组合件,在装到机器人手臂上后,可通过气管接头连接真空管路,上下两个面各连接一条管路,进而可通过两条管路上设置的PEEK吸盘,使上下两个面均可以吸附晶圆产品。
本实用新型一种晶圆产品双面吸盘在权利要求书中公布了:1.一种晶圆产品双面吸盘,包括安装到机器人法兰安装件上的法兰接头1,其特征在于:所述法兰接头1远离法兰面的一端中部开设有铝板固定槽2,所述法兰接头1靠近法兰面的一端中心处上下开设有气管槽3,两个所述气管槽3的内部均设置有气管接头4,所述铝板固定槽2的内部上方设置有上铝板5,所述铝板固定槽2的内部下方设置有下铝板7,所述上铝板5与下铝板7之间设置有分隔铝板6,所述上铝板5与下铝板7靠近分隔铝板6的一侧均开设有气路槽8,所述上铝板5与下铝板7在气路槽8与气管接头4相对应的位置处均开设有抽气孔12,所述上铝板5与下铝板7在气路槽8远离气管接头4的一端均开设有三个吸盘孔13,所述上铝板5与下铝板7远离分隔铝板6的一侧与吸盘孔13相对应的位置处均设置有PEEK吸盘9。
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