合光光掩模科技(安徽)有限公司张新敏获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉合光光掩模科技(安徽)有限公司申请的专利保护膜剥离装置以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612403U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423235744.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型保护膜剥离装置以及半导体制造设备是由张新敏;张健澄设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本保护膜剥离装置以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种保护膜剥离装置以及半导体制造设备，保护膜剥离装置包括：载台和盖板；载台和或盖板上设置有控温模块，控温模块用于对掩模以及保护膜进行加热和或冷却；盖板沿靠近或远离载台的方向可移动，并在控温模块加热掩模时，覆盖于保护膜的上方；盖板上设有剥离模块，剥离模块在盖板覆盖保护膜时，与保护膜相卡合；其中，盖板沿平行于保护膜的方向可伸缩，以匹配保护膜的尺寸。如此配置，通过设置控温模块，一方面能够通过加热软化粘胶，减少胶残留，同时通过冷却保护膜，在剥离过程中能够保持保护膜的刚性，避免因高温软化而引发的二次污染和掩模表面损伤；盖板能够匹配不同的保护膜尺寸，提升了保护膜的剥离效率。
本实用新型保护膜剥离装置以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种保护膜剥离装置，其特征在于，包括：载台和盖板； 所述载台用于承载具有保护膜的掩模； 所述载台和或所述盖板上设置有控温模块，所述控温模块用于在剥离所述保护膜时，对所述掩模以及所述保护膜进行加热和或冷却； 所述盖板沿靠近或远离所述载台的方向可移动，并在所述控温模块加热所述掩模时，覆盖于所述保护膜的上方；所述盖板上设有剥离模块，所述剥离模块在所述盖板覆盖所述保护膜时，与所述保护膜相卡合，以在所述盖板沿远离所述载台的方向移动时，驱动所述保护膜脱离所述掩模的表面； 其中，所述盖板沿平行于所述保护膜的方向可伸缩，以匹配所述保护膜的尺寸。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合光光掩模科技(安徽)有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港经济示范区硕放路1号新桥集成电路科技园研发楼103-3室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励