大连皓宇电子科技有限公司李玉慧获国家专利权
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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种可调平的晶圆升降机构及晶圆载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612404U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422400123.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种可调平的晶圆升降机构及晶圆载台是由李玉慧;张正中;滕文聪;赵越设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可调平的晶圆升降机构及晶圆载台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可调平的晶圆升降机构，包括：腔体连接板、第一调整板、第二调整板、调平机构和升降机构；所述第一调整板沿Y向滑动设置于腔体连接板上，所述第二调整板沿X向滑动设置于第一调整板上；所述升降机构能够驱动晶圆载台沿Z向位移，所述升降机构通过调平机构安装在第二调整板上，所述调平机构能够调整所述升降机构的行程方向与第二调整板所在平面之间的夹角。本实用新型还公开了一种晶圆载台，包括前述的一种可调平的晶圆升降机构。以提供一种既能够用于实现晶圆载台在XYZ三个方向上的位移调整，又能够满足晶圆载台水平度调整的晶圆升降机构及晶圆载台。
本实用新型一种可调平的晶圆升降机构及晶圆载台在权利要求书中公布了：1.一种可调平的晶圆升降机构，其特征在于，包括：腔体连接板1、第一调整板2、第二调整板3、调平机构和升降机构4； 所述第一调整板2沿Y向滑动设置于腔体连接板1上，所述第二调整板3沿X向滑动设置于第一调整板2上； 所述升降机构4能够驱动晶圆载台A沿Z向位移，所述升降机构4通过调平机构安装在第二调整板3上，所述调平机构能够调整所述升降机构4的行程方向与第二调整板3所在平面之间的夹角。
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