闳康技术检测(上海)有限公司王孝永获国家专利权
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龙图腾网获悉闳康技术检测(上海)有限公司申请的专利一种应用于大尺寸晶圆FIB加工的承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612409U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423083637.X，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种应用于大尺寸晶圆FIB加工的承载装置是由王孝永;谢大祥;谢孟均;许凯迪设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于大尺寸晶圆FIB加工的承载装置在说明书摘要公布了：本申请涉及承载装置的技术领域，尤其是涉及一种应用于大尺寸晶圆FIB加工的承载装置，其包括用于承载晶圆样品的载具底座，所述载具底座的顶面设置有第一导电软垫，所述晶圆样品设置于所述第一导电软垫的顶面，所述晶圆样品的顶面设置有金属铜网，所述金属铜网的顶面设置有第二导电软垫，所述载具底座设置有用于压紧固定所述晶圆样品的固定组件。本申请具有克服在不破坏样品的情况下，既承载大尺寸FIB样品，又兼顾良好导电性的效果。
本实用新型一种应用于大尺寸晶圆FIB加工的承载装置在权利要求书中公布了：1.一种应用于大尺寸晶圆FIB加工的承载装置，包括用于承载晶圆样品2的载具底座1，其特征在于：所述载具底座1的顶面设置有第一导电软垫3，所述晶圆样品2设置于所述第一导电软垫3的顶面，所述晶圆样品2的顶面设置有金属铜网4，所述金属铜网4的顶面设置有第二导电软垫5，所述载具底座1设置有用于压紧固定所述晶圆样品2的固定组件。
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