华海清科(北京)科技有限公司张美美获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司申请的专利夹持机构以及晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612410U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423175212.1，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型夹持机构以及晶圆清洗装置是由张美美;徐俊成;王鹏;刘豫东设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本夹持机构以及晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种夹持机构以及晶圆清洗装置，夹持机构包括多个用于夹持晶圆的夹持组件，所述夹持组件包括驱动部以及夹持部，所述夹持部设置于支撑台上，驱动部位于夹持部下方用于驱动夹持部的夹爪摆动；多个所述夹持组件在支撑台的周向上均匀分布，多个夹持组件两两相对设置形成多个夹持组；多个夹持组存在至少两个夹爪摆角范围。采用上述技术方案，克服了现有技术中通过机械手送进晶圆过程中晶圆容易被夹爪顶住的缺陷，对机械手横向行程误差的容忍度显著提高，从而能够更好地适应实际操作中的偏差，确保了夹持过程的顺畅性，提升了作业效率。
本实用新型夹持机构以及晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种夹持机构，其特征在于，包括多个用于夹持晶圆的夹持组件，所述夹持组件包括驱动部以及夹持部，所述夹持部设置于支撑台上，驱动部位于夹持部下方用于驱动夹持部的夹爪摆动；多个所述夹持组件在支撑台的周向上均匀分布，多个夹持组件两两相对设置形成多个夹持组；其中多个夹持组存在至少两个夹爪摆角范围，同组的夹持组件夹爪摆角范围相同。
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