昆山倬跃蓝天电子科技有限公司;苏州蓝泽智能科技有限公司闫奋娥获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山倬跃蓝天电子科技有限公司;苏州蓝泽智能科技有限公司申请的专利解片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223612411U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202522143512.X，技术领域涉及：H01L21/78；该实用新型解片装置是由闫奋娥;陈泓桥设计研发完成，并于2025-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本解片装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，涉及一种解片装置。本实用新型的放料组件将其上保护膜放料至横向裂片组件以及纵向裂片组件处的晶圆上方且盖设在晶圆的裂片表面上，压料机构保护膜压料在晶圆的裂片表面，横向裂片组件和纵向裂片组件分别对晶圆进行横纵两个方向进行解片操作，保护膜贴附在晶圆上进行裂片，不仅达到晶圆裂片的目的，避免了硬物与晶圆直接接触，提高裂片后晶粒的完整性；分离机构再对完成解片操作的晶圆与其上的保护膜进行顶升分离，可以有效保证保护膜与晶圆分离，避免保护膜粘连造成晶圆上的晶粒脱离，提高裂片效果。
本实用新型解片装置在权利要求书中公布了：1.一种解片装置，其特征在于，包括： 裂片机构，包括横向裂片组件和纵向裂片组件，所述横向裂片组件和纵向裂片组件相对设置，所述横向裂片组件和纵向裂片组件用于分别对晶圆进行横纵两个方向进行解片操作； 保护机构，与所述裂片机构相对设置，所述保护机构包括两放料组件，两放料组件分别与横向裂片组件和纵向裂片组件相对设置，所述放料组件用于将其上保护膜放料至横向裂片组件以及纵向裂片组件处的晶圆上方且盖设在晶圆的裂片表面上； 压料机构，设置于横向裂片组件和纵向裂片组件上，所述压料机构用于将放料组件上的保护膜压料在所述晶圆的裂片表面； 分离机构，设置于所述横向裂片组件和纵向裂片组件上，所述分离机构用于对完成解片操作的晶圆与其上的保护膜进行顶升分离。
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