株式会社尼康柴崎祐一获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社尼康申请的专利测量装置及方法、光刻系统、曝光装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111208712B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010107672.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权测量装置及方法、光刻系统、曝光装置及方法是由柴崎祐一设计研发完成，并于2016-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本测量装置及方法、光刻系统、曝光装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种测量装置及方法、光刻系统、曝光装置及方法，该测量装置100具备可保持基板W与XY平面平行移动的滑件10、驱动滑件的驱动系统、可从读头部32对设置于滑件具有格子部RG1的测量面照设多条光束并接收该多条光束各个的来自测量面的返回光束以测量滑件的包含绝对位置坐标的至少3自由度方向的位置信息的位置测量系统30、检测基板上的标记的标记检测系统MDS以及一边控制滑件的驱动并一边使用标记检测系统分别检测基板上的多个标记一边根据各标记的检测结果与检测时的位置测量系统的测量信息求出各标记的绝对位置坐标的控制装置。
本发明授权测量装置及方法、光刻系统、曝光装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种测量装置，取得通过对被保持在曝光装置所具有的基板保持具上的基板的曝光处理而形成于所述基板的标记的位置信息，其特征在于，包括： 第1检测系统，检测形成于所述基板的所述标记； 载台，在与所述基板保持具不同的保持构件上保持所述基板且能够移动； 绝对位置测量系统，具备具有格子部的测量面与对所述测量面照射光束的读头部，所述测量面与所述读头部中的一方设置于所述载台，从所述读头部对所述测量面照射光束，且接收所述光束从所述测量面返回的返回光束，以取得所述载台的位置信息； 控制装置，根据所述第1检测系统的检测结果、与使用所述绝对位置测量系统而取得的所述载台的位置信息，求出通过既定的曝光处理而形成于所述基板上的多个区划区域各自对应的多个标记的位置信息；以及 记忆装置；且 将根据所述多个标记与所述区划区域的中心的已知的位置关系而自所述多个标记的位置信息所获得的所述多个所述区划区域的位置信息、与所述区划区域的设计位置信息的差，作为就每个所述既定的曝光处理作为基准的晶圆格子的变动信息而储存于所述记忆装置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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