常州捷佳创精密机械有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利加热组件和硅片加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112309917B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011186868.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权加热组件和硅片加工设备是由左国军;梁建军;朱海剑设计研发完成，并于2020-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热组件和硅片加工设备在说明书摘要公布了：本发明提出了一种加热组件和硅片加工设备。加热组件包括：板体；加热件，设于板体的底部；板体的顶部设有应力槽，其中，应力槽为盲槽。通过本发明的技术方案，有效地提升了加热组件的温度均匀性，减少了板体变形的现象，还延长了加热件的使用寿命，提升加热件工作的稳定性。
本发明授权加热组件和硅片加工设备在权利要求书中公布了：1.一种加热组件，其特征在于，包括： 板体100； 加热件140，设于所述板体100的底部； 所述板体100的顶部设有应力槽102， 其中，所述应力槽102为盲槽； 所述应力槽102的数量为多个，多个所述应力槽102中，一部分所述应力槽102在所述板体100上横向设置，另一部分所述应力槽102在所述板体100上纵向设置； 所述板体100的底部还设有收纳槽104，所述加热件140设于所述收纳槽104内； 所述板体100的底部还设有多个加热区； 每个所述加热区上分别设有所述加热件140； 所述板体100上还设有隔断槽106，相邻的所述加热区之间设有所述隔断槽106，所述隔断槽106贯穿所述板体100的顶部和底部； 多个所述加热区中的所述加热件140的数量，由内向外逐渐增加； 相邻的所述加热区上设置的加热件的数量不同； 所述加热件包括加热丝，所述收纳槽在所述板体上曲折迂回地设置，所述加热丝相应地随着所述收纳槽的形状而曲折迂回地设置； 在不同的加热区，所述加热丝曲折迂回的次数不同。
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