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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利立式批处理炉组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112309936B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010729608.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权立式批处理炉组件是由C.G.M.德里德设计研发完成，并于2020-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本立式批处理炉组件在说明书摘要公布了：用于处理晶片的立式批处理炉组件，包括盒操纵空间、晶片操纵空间以及将盒操纵空间与晶片操纵空间分隔开的第一壁。第一壁具有至少一个晶片传送开口，在所述至少一个晶片传送开口的前方设置有用于晶片盒的晶片传送位置。盒操纵空间包括盒存放器和盒操纵机构。盒存放器具有多个盒存放位置，并且被配置为存放多个晶片盒。所述盒操纵机构包括第一盒操纵器，所述第一盒操纵机配置为在第一组盒存放位置与所述晶片传送位置之间传送晶片盒。所述盒操纵机构设置有第二盒操纵器，所述第二盒操纵机配置为在第二组盒存放位置和晶片传送位置之间传送晶片盒。

本发明授权立式批处理炉组件在权利要求书中公布了：1.一种用于处理晶片的立式批处理炉组件10，包括： -盒操纵空间12； -晶片操纵空间14； -第一壁16，其将盒操纵空间12与晶片操纵空间14分开，并具有至少一个晶片传送开口18，在所述至少一个晶片传送开口18的前方朝向盒操纵空间12的第一壁16的一侧，设置用于晶片盒22的晶片传送位置20； 其中，所述盒操纵空间12包括： -具有多个盒存放位置24的盒存放器，所述盒存放器被构造为存放设置有多个晶片的多个晶片盒22；和 -盒操纵机构，包括第一盒操纵器26，所述第一盒操纵器26配置为在第一组盒存放位置30与晶片传送位置20之间传送晶片盒22，其中，所述盒操纵机构设置有第二盒操纵器28，所述第二盒操纵器28配置为在第二组盒存放位置32与晶片传送位置20之间传送晶片盒， 其中，第一组盒存放位置30覆盖所述盒操纵空间靠近第一端的一半，而第二组盒存放位置32覆盖盒操纵空间的靠近第二端的另一半，其中第二端与第一端相对， 其中，所述立式批处理炉组件还包括存放架48，所述存放架48包括至少一部分盒存放位置，其中所述盒操纵空间12可通过可关闭的维护开口进入，至少一个存放架48可通过该维护开口从盒操纵空间12中移出。

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