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龙图腾网获悉常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利除液槽和清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112435940B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011358874.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权除液槽和清洗设备是由左国军;余兴梅;汤和平;丁力;万红朝设计研发完成，并于2020-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本除液槽和清洗设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种除液槽和清洗设备。其中，除液槽包括：槽体，槽体能够容纳硅片载具，槽体底部设有排液管路；除液组件，至少部分除液组件设于槽体内，用于去除置于槽体内的硅片载具底部的液体。本发明的技术方案，可有效去除附着于硅片载具底部的液体，防止硅片载具的底部有液体残留，以使完成除液操作的硅片载具进行烘干操作时不会产生烘干盲区，进而防止对后续加工工艺造成影响，有利于提高硅片产品的质量。

本发明授权除液槽和清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种除液槽1，其特征在于，包括： 槽体11，所述槽体11能够容纳硅片载具2，所述槽体11底部设有排液管路14，用于将所述槽体11内的液体向外排出； 除液组件13，至少部分所述除液组件13设于所述槽体11内，用于去除置于所述槽体11内的所述硅片载具2底部的液体； 至少部分所述除液组件13通过负压作用使所述硅片载具2底部的液体下落； 所述除液组件13包括： 支撑结构134，设于所述槽体11内，并与所述槽体11的侧壁111相连接，所述支撑结构134能够对所述硅片载具2形成支撑； 集液盒135，连接于所述支撑结构134，所述集液盒135的顶部设有第一吸风口1351，所述第一吸风口1351沿所述硅片载具2的底部杆件21的延伸方向设置，所述第一吸风口1351两侧的顶板向下倾斜，以与所述硅片载具2的底部杆件21相适配，所述集液盒135的底部设有第二吸风口1352； 吸水棉137，设于所述支撑结构134上，所述吸水棉137与所述硅片载具2的底壁接触，用于吸收所述硅片载具2底部的液体； 负压驱动装置139，设于所述槽体11外，用于使所述槽体11内形成负压，所述负压驱动装置139的一端通过管路与所述第二吸风口1352连接，所述负压驱动装置139能够使所述集液盒135产生负压，以收集所述硅片载具2底部的液体，所述负压驱动装置139的另一端通过管路与所述排液管路14连接； 所述支撑结构134包括支撑座1341和过滤网板1342，所述支撑座1341为沿所述槽体11的侧壁设置的连续结构；所述过滤网板1342置于所述支撑座1341上，用于支撑所述硅片载具2； 所述吸水棉137设于所述过滤网板1342上； 除液组件13还包括： 第一通风管路131，所述第一通风管路131沿所述硅片载具2的长度方向延伸，并通过固定卡件114分别与所述槽体11的侧壁111相连，所述第一通风管路131的一端通过管路与负压驱动装置139连接，另一端封闭，所述第一通风管路131上设有多个沿长度方向间隔设置的吸湿口1311； 第三通风管路1361，所述第三通风管路1361设于所述槽体11外，并与所述槽体11内相连通，所述第三通风管路1361的一端与所述负压驱动装置139连接；所述第三通风管路1361与所述槽体11的侧壁111之间设有侧吸风罩1362，所述侧吸风罩1362为类似喇叭状结构；所述侧吸风罩1362的敞口端与所述槽体11的侧壁111连通，所述侧吸风罩1362的另一端与所述第三通风管路1361相连，以增大第三通风管路1361的覆盖面积，所述槽体11内设有与所述侧吸风罩1362相连通的吸风腔体1363； 喷淋管路138，设于所述槽体11内，所述喷淋管路138与所述槽体11的侧壁111相连接，所述喷淋管路138上设有多个喷淋孔1381，用于向所述吸水棉137喷水，以使所述吸水棉137保持除液所需的湿度； 所述排液管路14中设有排液吸风口141，所述排液吸风口141通过管路连接至负压驱动装置139； 所述排液管路14中设有倒虹管段142，以利用所述倒虹管段142中的液体使所述排液管路14实现密封； 其中，所述排液吸风口141位于所述倒虹管段142与所述槽体11之间。

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