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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利竖式分批炉组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112735974B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011071398.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权竖式分批炉组件是由C.G.M.德里德设计研发完成，并于2020-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本竖式分批炉组件在说明书摘要公布了：用于处理晶片的竖式分批炉组件，其包括具有匣存储装置的匣装卸空间，以及匣装卸机构。所述匣装卸机构包括匣装卸器，所述匣装卸器被配置成通过在匣装卸臂上支撑和移动晶片匣而在匣存储位置与晶片传送位置之间传送所述晶片匣。所述匣装卸臂具有检测器以检测在检测区域中的匣。所述匣装卸器将所述检测器的所述检测区域朝向所述匣存储位置之一移动以检测是否存在匣。

本发明授权竖式分批炉组件在权利要求书中公布了：1.一种用于处理晶片的竖式分批炉组件10，其具有匣装卸空间12，所述匣装卸空间被构造和布置成装卸晶片匣以用于存储晶片，所述空间包括： 匣存储装置，其具有多个匣存储位置24且被配置成存储多个晶片匣22； 第一匣装卸器，其包括第一匣装卸器臂； 第二匣装卸器，其包括第二匣装卸器臂； 至少一个匣进出口42、44；以及 在至少一个晶片传送开口18前方的至少一个晶片传送位置20， 其中所述多个匣存储位置包括第一组匣存储位置和第二组匣存储位置，其中第一组匣存储位置不包括第二组匣存储位置中的匣存储位置，并且其中第二组匣存储位置不包括第一组匣存储位置中的匣存储位置， 其中第一匣装卸器臂配置为能够到达所述多个匣存储位置中的第一组匣存储位置， 其中第二匣装卸器臂配置为能够到达所述多个匣存储位置中的第二组匣存储位置， 其中所述匣装卸器中的每个被配置成从匣存储位置24来回传送晶片匣22，同时将所述晶片匣支撑在匣装卸臂34上，其中所述匣装卸臂34具有检测器35以检测在检测区域中的匣，且所述匣装卸器被构造和布置成将所述检测器的所述检测区域朝向所述多个匣存储位置中的一个匣存储位置移动，以检测在所述一个匣存储位置处是否存在匣， 其中所述匣进出口设置在界定所述匣装卸空间12的壁16、38、40、46中，其中所述匣装卸器26、28被配置成另外从所述至少一个匣进出口42、44来回传送晶片匣22， 其中所述至少一个晶片传送开口设置在界定所述匣装卸空间12的壁16、38、40、46中，其中所述匣装卸器26、28被配置成另外从与所述至少一个晶片传送位置20相关联的至少一个匣装载取出位置25来回传送晶片匣22。

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