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龙图腾网获悉布鲁克纳米有限公司申请的专利测量装置、扫描探针显微镜和对测量样品进行测试的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112824907B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011322093.1，技术领域涉及：G01Q20/04；该发明授权测量装置、扫描探针显微镜和对测量样品进行测试的方法是由沃尔夫冈·多布勒;达尼洛·尼采;弗雷德里克·布考·范德设计研发完成，并于2020-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本测量装置、扫描探针显微镜和对测量样品进行测试的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及测量装置、扫描探针显微镜和对测量样品进行测试的方法。用于扫描探针显微镜的测量装置具有：样品容纳部，其设置成用于容纳要测试的测量样品；测量探针，其设置在探针支架上并且具有探针尖，该测量样品能够利用所述探针尖进行测量；移位装置，其设置成，为了测量所述测量样品使测量探针和样品容纳部相对于彼此运动，使得测量探针为了测量所述测量样品而相对于测量样品在至少一个空间方向上实施扫描运动；控制装置，其与移位装置连接并控制测量探针与样品容纳部之间的相对运动；以及传感器装置，其设置成，检测测量探针和或样品容纳部的实际运动的运动测量信号并将所述运动测量信号发送给控制装置。

本发明授权测量装置、扫描探针显微镜和对测量样品进行测试的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于扫描探针显微镜的测量装置，具有 -样品容纳部，所述样品容纳部设置成用于容纳要测试的测量样品； -测量探针，所述测量探针设置在探针支架上并且具有探针尖，所述测量样品能够利用所述探针尖进行测量； -移位装置，所述移位装置设置成，为了测量所述测量样品使所述测量探针和所述样品容纳部相对于彼此运动，使得所述测量探针为了测量所述测量样品而相对于所述测量样品在至少一个空间方向上实施扫描运动； -控制装置，所述控制装置与所述移位装置连接并控制所述测量探针与所述样品容纳部之间的相对运动；以及 -传感器装置，所述传感器装置设置成，检测所述测量探针和或所述样品容纳部的实际运动的运动测量信号并将所述运动测量信号发送给所述控制装置，所述实际运动是在为了测量所述测量样品而使所述测量探针和所述样品容纳部相对于彼此运动时实施的，其中所述运动测量信号指示沿第一空间方向的干扰扫描运动的第一运动分量和沿第二空间方向的干扰扫描运动的第二运动分量，所述第二空间方向横向于所述第一空间方向延伸； 其中，干扰扫描运动的所述第一运动分量和干扰扫描运动的所述第二运动分量对应于耦合运动，在所述耦合运动中，干扰扫描运动的所述第二运动分量是由干扰扫描运动的所述第一运动分量引起的， 其中，所述控制装置还设置成，根据针对所述耦合运动的所述运动测量信号通过耦合控制来控制所述测量探针与所述样品容纳部之间的相对运动，使得通过所述控制装置给所述移位装置加载起补偿作用的控制信号分量，所述控制信号分量对于所述测量探针和或所述样品容纳部的运动实现第一反向运动和或第二反向运动，所述第一反向运动基本上补偿沿所述第一空间方向的干扰性的所述第一运动分量，所述第二反向运动基本上补偿沿所述第二空间方向的干扰性的所述第二运动分量。

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