细美事有限公司朴美昭获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113948421B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110803475.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由朴美昭;李龙熙;林义相;郑镇优设计研发完成，并于2021-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：提供了一种使用处于超临界状态的处理流体来处理基板的装置。在将处理空间中的压力从低于处理流体的临界压力的压力增加到高于所述临界压力的处理压力的增压步骤中，所述装置控制从第一供应端口供应的处理流体的供应量，以控制从所述第一供应端口供应然后通过排出端口排出的所述处理流体的流动。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种使用处于超临界状态的处理流体来处理基板的装置，所述装置包括： 腔室，其用于提供用于处理所述基板的处理空间； 基板支撑件，其设置在所述腔室内，以用于当所述基板被加载到所述腔室内时支撑所述基板； 第一供应端口，其设置在所述腔室的下壁中，其中，所述第一供应端口连接到第一供应管线，以用于将处理流体供应到所述处理空间的位于所述基板下方的部分； 排出端口，其设置在所述腔室的所述下壁中，并与所述第一供应端口隔开预定间距，其中，所述排出端口连接到用于从所述腔室排出所述处理流体的排出管线； 分支管线，其从所述排出管线分出，并且位于所述排出管线的、安装在所述排出管线处的排出阀上游的位置处，其中，所述分支管线总是打开的；以及 控制器，其配置成控制所述处理流体的供应和排出， 其中，在将所述处理空间中的压力从低于所述处理流体的临界压力的压力增加到高于所述临界压力的处理压力的增压步骤中，所述控制器配置成控制从所述第一供应端口供应的所述处理流体的供应量，以控制从所述第一供应端口供应然后通过所述排出端口排出并且通过所述分支管线的所述处理流体的流动。
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