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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种晶圆传输系统的定位精度确定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114628301B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210285555.X，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆传输系统的定位精度确定方法是由王家林;菅彦彬;祁雪飞;牛岩设计研发完成，并于2022-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆传输系统的定位精度确定方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆传输系统的定位精度确定方法，该方法包括：获取目标晶圆上第一标记的第一目标图像以及目标晶圆上第二标记的第二目标图像；基于第一目标图像以及第二目标图像，确定第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置；基于第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记、第二标记以及目标晶圆中心点三者的基准位置之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度；将目标晶圆的中心点当前位置与中心点基准位置、摆放角度与基准角度分别进行比较，确定晶圆传输系统的定位精度是否满足精度要求。通过采用上述晶圆传输系统的定位精度确定方法，解决了无法对晶圆传输系统的上片重复性定位精度进行准确测量的问题。

本发明授权一种晶圆传输系统的定位精度确定方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输系统的定位精度确定方法，其特征在于，应用于晶圆上片重复性检测系统，所述晶圆上片重复性检测系统包括晶圆承载平台，所述方法包括： 接收晶圆传输系统发送的目标晶圆已放入所述晶圆承载平台的转载完毕信号，获取目标晶圆上第一标记的第一目标图像以及目标晶圆上第二标记的第二目标图像，所述目标晶圆上具有形状相同第一标记及第二标记，所述第一标记及所述第二标记均为图形标记； 基于所述第一目标图像以及第二目标图像，确定第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置； 基于第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记、第二标记以及目标晶圆中心点三者的基准位置之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度； 将所述目标晶圆的中心点当前位置与中心点基准位置、摆放角度与基准角度分别进行比较，确定晶圆传输系统的定位精度是否满足精度要求； 所述基于第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记、第二标记以及目标晶圆中心点三者的基准位置之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置以及摆放角度，包括： 基于所述第一标记的当前位置以及第二标记的当前位置，利用第一标记的基准位置、第二标记的基准位置以及目标晶圆中心点的基准位置三者之间的位置关系，确定目标晶圆的中心点当前位置； 确定第一标记的中心点以及第二标记的中心点； 连接所述第一标记的中心点以及所述第二标记的中心点，得到标记中心点连线； 将标记中心点连线的延长线与测量坐标系水平方向的夹角，确定为目标晶圆的摆放角度； 所述目标晶圆包括多个，所述方法还包括： 基于多个目标晶圆各自的中心点当前位置以及摆放角度，确定晶圆传输系统的定位精度是否满足精度要求； 通过以下方式确定晶圆传输系统的定位精度是否满足精度要求： 基于多个目标晶圆各自的中心点当前位置以及摆放角度，确定多个目标晶圆的综合位置偏差值以及综合角度偏差值； 确定所述综合位置偏差值是否小于位置偏差阈值，以及所述综合角度偏差值是否小于角度偏差阈值； 若所述综合位置偏差值小于位置偏差阈值且所述综合角度偏差值小于角度偏差阈值，则确定晶圆传输系统的定位精度满足要求。

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