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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于隔离激光系统中的增益元件的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114976827B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210526374.1，技术领域涉及：H01S3/00；该发明授权用于隔离激光系统中的增益元件的系统和方法是由陶业争;R·罗基斯基;D·J·W·布朗;D·J·格里斯;M·卡特斯;J·T·斯特瓦特设计研发完成，并于2015-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于隔离激光系统中的增益元件的系统和方法在说明书摘要公布了：公开了用于保护激光产生等离子体LPP极紫外EUV光系统中的种子激光器的方法和设备。被定位在光路上的隔离级使从LPPEUV光系统中的进一步的部件反射的光转向，以免到达种子激光器。隔离级包括通过延迟线分离的两个AOM。AOM当打开时将光引导到光路上，并且当关闭时将光远离光路引导。由延迟线引入的延迟被确定为使得AOM的打开和关闭可以被定时以将前向移动的脉冲引导到光路上并且在其他时间使反射光转向。隔离级可以被定位在增益元件之间，以防止放大的反射光到达种子激光器和其他潜在的有害效应。

本发明授权用于隔离激光系统中的增益元件的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种光学的系统，所述系统包括： 第一增益元件，沿着激光束的光路被定位； 第二增益元件，沿着所述光路被定位在所述第一增益元件之后；以及 隔离级，沿着所述光路被定位在所述第一增益元件与所述第二增益元件之间，所述隔离级被配置成使已经通过所述第二增益元件沿着所述光路往回反射的光转向，所述隔离级包括： 第一声光调制器，被配置成在第一时间段内，在其中光沿着所述光路被引导的第一状态与其中光未沿着所述光路被引导的第二状态之间转变，所述第一时间段基于所述激光束的直径； 第二声光调制器，被配置成在第二时间段内，在其中光沿着所述光路被引导的第一状态与其中光未沿着所述光路被引导的第二状态之间转变，所述第二时间段基于所述激光束的直径，并且所述第二声光调制器的所述转变发生在所述第一声光调制器的所述转变之后的时间处；以及 延迟装置，被定位在所述第一声光调制器与所述第二声光调制器之间，并且包括光束折叠光学布置，所述光束折叠光学布置包括被配置成使所述第一声光调制器与所述第二声光调制器之间的光的传输延迟基于所述声光调制器的第一转变时间和第二转变时间确定的时间的光学部件，使得通过了所述第二声光调制器的沿着所述光路往回反射的任何光将不会通过所述第一声光调制器， 其中所述延迟进一步基于光束成像的发生， 其中，如果发生光束成像，则所述延迟被进一步确定为使得所述激光束的第一部分由所述第二声光调制器转向，并且所述激光束的余下部分由所述第一声光调制器转向。

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